欧姆接触 式 RFMEMS开关设计与仿真
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上传:tumux_24697
2019-06-11
3分
利用表面微加工工艺设计了一种双悬臂梁支撑的欧姆接触式 MEMS开关,开关的材料为 Au。通 过对开关驱动电压的理论分析得出,悬臂梁的刚度越低,下拉电压就会越小 ;又因为刚度与悬臂梁厚度的 三次方呈 比
欧姆接触 式 RFMEMS开关设计与仿真_图1
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