利用表面微加工工艺设计了一种双悬臂梁支撑的欧姆接触式 MEMS开关，开关的材料为 Au。通 过对开关驱动电压的理论分析得出，悬臂梁的刚度越低，下拉电压就会越小 ；又因为刚度与悬臂梁厚度的 三次方呈 比