核心洁净空调系统设计由3台新风机组，其中2台新风机组（45000m3/h）为封装间、测试间服务，1台新风机组（40000m3/h)为电镀区提供新风。工艺冷却水系统供应由2台变频循环水泵（1用1备）和2