SST系列倾角传感器成功通过近2年的试验，并半导体光刻设备被认可。 500nm/650nm工艺器件量产的i/g-线步进投影光刻机设备书属于精密设备，对传感器的精度要求相当高，包括重复性、稳定性、可靠性