随着世界制造业向我国的战略性转移，我国出现了越来越多的各式洁净厂房。在这些洁净厂房中，特别是量ＩC的生产厂房，洁净度要求特别严格，成为洁净厂房的典型用户。在这些集成电路的相关生产企业中，起始由于成品率