仪器特点 1、国内体积最小的、容机电及气氛控制为一体的整体化仪器，减少信号损失，减少干扰。 2、气氛控制系统采用质量流量控制器，三路稳压、稳流气体可以在实验过程中变换，精度高、重复性好、响应速度快（可