随着国内芯片制造业的飞速发展.芯片生产过程中产生的废水也是各企业所必须面临的一个问题。文章结合工程实例.简要介绍了芯片废水中污染物分类及来源,着重探讨了含氨废水、含氟废水、研磨废水和酸碱废水的处理工艺