洁净室技术的发展
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上传:lovesmile
2015-05-14
3.5分
洁净室技术的各个组成部分机器相互关系 首先,必须进行设计并建造出洁净室。为此,必须考虑: (1)应采用什么设计标准; (2)做何种设计平面布置图、使用何种建筑材料; (3)如何向洁净室提供各种设施。
洁净室技术的发展_图1
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