MZ真空镀膜系统中气动屏蔽系统的设计
版权资料 上传:tumux_35758 2023-12-29
5分
本设计主要目的是实现真空镀膜保护屏蔽机构的自动化。通过过计算和结构优化设计,决定采用气泵为动力源,以气缸的往复运动及两个单向阀的反向安装来实现屏蔽自动操作,从而实现由比较简单的结构完成要求的目的。设计
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