真空吸盘作为机械手中的一种常见结构形式，具有无污染、易使用易维护、不伤工件的特点，广泛应用在电子领域的电路板与电子行业中，如用于硅片的搬运。本机械手的机械结构主要包括硅片原料定位机构设计，拾取吸盘运动