光栅光刻镜头是光刻系统的重要组成部分。目前国内外大多数传统透镜如厚度较厚，也会存在较为严重的色差，透镜的有效焦距过短，较厚的透镜也会占据较大的空间等问题，菲涅尔透则不同，菲涅尔透镜是去掉了直线传播的部