本文从光的传播和偏振谈起，介绍了椭圆偏振光谱测量的原理，详细说明了旋转偏振器型椭偏仪的光学系统配置和工作原理，并用穆勒矩阵对旋转偏振器型椭偏仪的光路系统模型进行了详细推导。阐释了变入射角椭偏测量的重要