专用喷胶设备，适用于表面刻有深孔的高表面形貌圆形或方形基片的喷涂工艺要求，旋流式锥形雾化，可均匀覆盖台阶表面，喷嘴有自动清洗功能。设备主要由旋转热板系统、喷嘴扫描系统、流速控制系统、控制系统及排液系统