全自动晶片刻蚀机管路排布和电气原理图
版权资料 上传:tumux_305 2023-12-12
5分
单片湿法刻蚀设备,能适应HF,HCL,H3PO4等多种刻蚀液,可刻蚀金属有Gr、Ni、Ti、Cu、Au等。本设备工作过程中由摆臂系统旋转交替喷液,多层Cup结构可实现不同刻蚀液的分类排放与回收。专业的
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