本图纸为光伏行业硅烷尾气处理，采用：硅烷燃烧筒+防爆布袋除尘器+洗涤塔处理工艺，设备材质要求高，工艺处理效率要求高，本工艺为目前硅烷尾气处理的常规工艺，可根据甲方要求进行更改...