晶圆离子注入机管路排布和电气原理图
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上传:tumux_41518
2023-12-12
5分
一款用于DRAM、NAND和NOR闪存、嵌入式存储器和逻辑器件制造的高能离子注入机。它可以提供从10keV到4MeV范围的能量。该注入机将RFLinac高能束斑技术与高速、一流的单晶圆终端平台结合在一
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