该系列晶圆甩干机系高洁净度的冲洗旋干设备。主要系应用于硅晶圆、掩模板、太阳能电池等材料的高洁净度冲洗旋干。设备具有单工作室、双工作室两种结构。　主要技术特点：系统采用高性能可编程控制器进行逻辑控制。结