涂胶/显影群组系统是通用的高产出晶圆处理系统，配置涂胶机、显影机、蒸汽底漆、HPO、冷却板等。涂胶/显影群组系统可用于处理大量的光阻和光敏聚合物。其精密的系统软件以及可靠的硬件配置使用户可在各种烘烤温