说明书（说明书）中文摘要本文主要介绍晶圆测试的发展状况，晶圆测试送进装置结构设计原理，晶圆测试送进装置总体方案分析及确定，晶圆测试送进装置结构设计内容所包含的机械图纸的绘制，送进装置的计算，送进装置的