喷胶机是一种能够覆盖崎岖形貌的光刻胶涂覆设备，同时对厚胶涂覆和节省光刻胶有着非常明显的优势。雾化喷头将光刻胶雾化成雾滴，溅到衬底或晶圆表面，热板加热将光刻胶溶剂蒸发，使得有用的树脂留在衬底或晶圆表面，