晶圆半导体搬运机械手臂GCR4210
版权资料 上传:tumux_5264 2023-10-24
5分
机械手臂型号 GCR4210-300-AM被搬运物 ~300mm晶圆晶圆吸附方式 真空吸附式机械结构格式 水平多关节 控制轴 4轴电机类型 AC伺服电机可动范围 被搬送物体中心到达距离 旋转角度(θ轴
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