西门子多晶硅生产工艺，其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上。经过改良后的西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法，是当前世界主流的生产方法，通过该方法制备的