储片盒内晶圆的自动搬运系统 可安全准确的搬运储片盒的的薄片。 储片盒和片盒间晶圆的无损伤自动搬运 可选装针对减薄晶圆的伯努利手指 自动识别储片盒内晶圆和垫纸（层间纸） 可自动识别晶圆高度 可满足客户对