此稿件为湖南某洁净厂房净化系统中特殊气体供应系统竣工图纸；该厂房为硅基薄膜太阳能电池生产线。　　设计内容：大宗气体PH2供应系统；特殊气体B2H6(2%)H2,CH4,NF3,PH3(0.5%)H2,