硅烷废气设计（4000风量）
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上传:tumux_20450
2023-10-07
5分
光伏电板生产过程中，PECVD工艺，该工艺产生的SiH4和NH3废气经过收集，由管道输送到硅烷燃烧塔，经过硅烷燃烧塔初级燃烧处理产生Si02和H2O再由管道和NH3进入喷淋塔，进行喷淋吸收处理，喷淋液
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