此图纸是制氧机20000空分设备工艺流程图，图纸可采用CAD2009版及以上版本打开。空分设备就是以空气为原料，通过压缩循环深度冷冻的方法把空气变成液态，再经过精馏而从液态空气中逐步分离生产出氧气、氮