本图纸为：某微电子厂洁净室维护结构工程、净化通风空调工程、空调、照明配电及工艺配管工程全套设计方案CAD图纸，内容包括：净化空调系统图一，剖面图，净化空调系统图二等，设计精准全面,内容详实，可供参考