低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计
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上传:tumux_37510
2018-11-10
3分
以超高密度信息存储技术为应用背景,设计了低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针,并安排了探针加工工艺流程. 通过建立更接近真实结构的悬臂梁模型,推导出了非矩形不等截面多层材料复合悬臂梁的弹性常数和谐振
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