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iso14644-2
ISO14644由下列各部分组成，但具有“洁净室和相关受控环境”的总标题。 ——第1部分：空气洁净度等级划分 ——第2部分：为认证ISO14644-1相符性用的测试和监控技术要求 ——第3部分：计量和测试方法 ——第4部分：设计、建造和投产 ——第5部分：运行 ——第6部分：术语和定义 ——第7部分：增强型洁净装置
iso14644-1
国际标准ISO 14644-1由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。 ISO 14644在洁净室及相关受控环境 的总标题下，由下述各部分组成： 第1部分：空气洁净度等级划分 第2部分：为认证与ISO 14644-1 连续的相符性的测试和监测技术要求 第3部分：计量和测试方法 第4部分：设计、施工和启动 第5部分：运行 第6部分：术语和定义 第7部分：增强的洁净装置
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