作为高效率高稳定性的半导体功率器件外观终检设备，设备由上料、转塔搬运、方向校正与定位、器件表面Mark检测、3D5S视觉检测模块、不良品排料、好料收料、溢料收料盒、工作台等几部分组成。其中主转盘采用1