用于半导体设备的安装位检测装置。安装位检测装置用于对半导体设备中安装在一平台上的环体进行安装位检测。该安装位检测装置用于对安装在平台上的环体进行水平度检测，从而可根据检测结果判断所述环体是否安装到位。