TURBOVACMAGW2200C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业，涡轮分子泵用于以下应用场合：-蚀刻；-溅射；-离子注入；-CVD；-光刻。这些应用中，经常需要抽除腐蚀性气体。需