磁控溅射靶材包括背板、绑定层、和靶材本体；背板内设置有冷却构件；绑定层由连接碳板，螺栓构成，用于绑定靶材本体和连接各部件；靶材本体由靶材、铜背板、导磁片、磁靴、磁钢、极座和磁轭构成。...