安捷伦扩散泵的主要特点包括：高抽速；高吞吐量；高的耐压；极限压力低；出色的回流特性；长期可靠性。扩散泵广泛使用，因为它们有几个优点：它们可靠，设计简单，操作简单，没有噪音或振动，并且相对便宜的操作和维