本资料为微电子工业空气洁净技术的若干进展，微电子工业的飞速发展对生产环境的空气洁净度提出了更高的要求。从分子态化学污染控制、高洁净度微环境控制、新型洁净产品、运行节能等方面介绍了近年的技术发展动向。内