为研究微谐振器在MEMS引信中的振动现象，建立系统固有频率和振型的方程。通过有限元仿真软件ANSYS对微谐振器进行模态仿真分析， 包括基于分块Lanczos法的模态分析、软件仿真、结构尺寸对固有频率影