刻蚀机台主要由刻蚀单元、化学品供应单元、机械手单元、控制系统以及主机结构等几部分组成。本设备的控制系统由工控机组成。采用大屏幕触摸屏，动态画面人机交互，显示设备运行过程中各工艺功能执行情况；工艺参数数