超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列。 适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于实现设备的小型化。 机械手臂标准臂长：90mm