本图纸为：某微电子厂洁净室维护结构工程、净化通风空调工程、空调、照明配电及工艺配管工程全套设计图纸，内容包含：工艺气管平面布置图，风管安装大样图，空调设备、FFU平面图，彩钢板吊顶布置图等，设计全面，
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