本图纸为某微电子厂洁净室维护结构工程、净化通风空调工程、空调、照明配电、工艺配管工程全套设计图纸,本工程洁净要求分为千级、万级和十万级及附属用房。图纸内容包括设计说明、各图纸布置平面图、各系统系统图、
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