质量流量控制器的工作原理特征介绍
质量流量控制器可以用于控制所有各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但是要注意,对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时,需要向供货厂商特殊声明使用气体,以免因为选型或选择密封材料错误,造成严重损失。通常质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。质量流量控制器采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。 质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去
沃尔达流量控制器的性能参数
流量控制器的最大特点是:当流量控制器进口、出口压差变化时,通过流量控制器的流量恒定不变。流量控制器的性能参数有:流量控制精度、工作压差范围、启动压差。(1)流量控制精度:指的是流量控制器的控制流量的误差,行业标准中的误差要求小于等于8%,A类产品的误差小于等于5%。流量控制精度的高低取决于自力式流量控制阀的设计、加工和材质。(2)工作压差范围:指的是当流量控制器进口、出口压差变化在多大范围时,能保持通过流量控制器的流量恒定不变。行业标准中规定工作压差范围0.03-0.3MPa,A类产品工作压差范围达到0.03-0.4MPa。工作压差范围的大小取决于自力式流量控制阀的设计。(3)启动压差:指的是流量控制器达到设定流量时所需要的最小压差。这个参数是一个重要参数,它实际上就是工作压差范围中的最小压差值。按照行业标准工作压差的规定,这个启动压差是0.03MPa。启动压差的大小取决于流量控制器的设计和加工。
流量控制阀原理-巨丰rj
流量控制阀是通过改变阀的通流截面积来实现流量控制的元件,它包括节流阀、单向节流阀和排气节流阀等。 排气节流阀只能安装在气动装置的排气口处,排气节流阀的工作原理为:气流进入阀内,由节流口节流后经消声套排出,因而它不仅能调节执行元件的运动速度,而且还能起到降低排气噪声的作用。把两个排气节流阀安装在二位五通电磁换向阀的排气口上,可控制活塞的往复运动速度。 单向节流阀结构原理为:其节流阀口为针型结构。气流从口流人时,顶开单向密封阀芯,气流从阀座的周边槽口流向,实现单向阀功能;当气流从A流人时,单向阀芯受力向左运动紧抵截止阀口,气流经过节流口流向,实现反向节流功能。----本文由东莞巨丰液压设备制造有限公司提供