洁净室设计中的几点分析
提要:本文简单地分析了高效空气过滤器流量—阻力特性,并用实例阐述了作者对高效空气过滤器选型中的一些经验。同时对洁净室系统送风量的计算提出了自己的经验算法。作者观点仅供参考。关键词:洁净室、高效过滤器、送风量 Several Analysis In Cleanroom DesignABSTRACT This article simply analyses flux-resistance′character of HEPA filter, and discusses some experience of HEPA filter′choice through existing example. At the same time it puts forward experiential arithmetic about air supply volume in a cleanroom system. Keep author′opinion only for reference.KEYWORD Clean room、HEPA filter、Air supp
关于洁净室的设计和实际使用,请教
一个大约9400平米的普通洁净室,设计洁净等级为10000@0.5um),局部5000@0.5um。(MAU+AHU+FFU构造,MAU的过滤器是G4+F8,AHU过滤器是G4+F8,HEPA是H12。换气次数约30次。)-----------------------------------------------------------运行6年来,动态实际控制要求是<3000@0.3um,局部<500@0.3um.(静态<100)近来局部出现3000~4000@0.3um的测量数据,生产部门开始抱怨空气洁净等级不够。(所有HEPA均不漏风)---------------------------