六氟化硫气体化学分子式为SF6，无味、无毒、是负电性物质，分子结构稳定，化学性质不活泼和堕性气体差不多，在同一温度下介电强度是空气的2．5—3倍，灭弧性能却是空气的100倍，在四个大气压时其绝缘能力大致和变压器油相仿，是当前最理想的绝缘和灭弧介质。1930年法国人首先发现了SF6气体，五十年代出现了用SF6气体做灭弧介质的高压断路器，很快地引起各制造厂和电力部门的注意，各制造厂竞相研制各种SF6高压断路器，到七十年代自70千伏到800千伏各电压等级几乎都有采用SF6气体断路器的，近年来在70千伏以下到10千伏范围采用SF6断路器所占比重也日渐增多，除了极寒冷地区以外，SF6断路器已遍布世界各个角落。

采用SF6气体做介电材料和灭弧介质的断路器有很多优点：首先是单断口电压高，单断口电压现在已达到300千伏，而一般空气断路器油断路器单断口电压在100千伏以下，所以一个500千伏SF6断路器只要一个立柱两个断口就行了，目前国产的500千伏空气断路器需要4个立拄八个断口、220千伏少油断路器是两个立拄四个断口，减少了灭弧断口，结构简化，提高下了可靠性也减少了占地面积；其次，SF6断路器灭孤性能好、烧孤时间短，不检修开断电流累计能达到2000千安，这相当于20一25年电网运行故障和正常开断次数的累计开断电流，所以SF6断路器很可能成为理想的“不检修断路器”， (实际上还需要更换吸潮剂并补充SF6气体，能保证在五至十年内不检修)，SF6断路器能开断较大的电流，现在一般能开断63—80千安甚至100千安的电流，SF6断路器的灭弧时间短，现在一般灭弧时间是两个赫兹(0．04秒)，而国产的220千伏少油断路器灭弧时间是7—8赫兹(约0．15秒)，而且对一些过电压较高的大小电流都能顺利地开断，可以说SF6高压断路器是结构比较理想的输电用高压断路器。

六十年代后期出现了封闭组合电器，在国外叫做SF6绝缘变电所(GIS)，除变压器以外把变电站用的高压电器(包括母线、断路器、电流互感器、电压互感器，避雷器、隔离开关、接地开关等集中到若干个相连接的充满SF6气体的密闭金属罐中，结构布置紧凑、外形美观、对负荷集中用电量大的城市户内变电站或地下变电站特别适用，一个这样的500千伏变电站其占地面积是常规变电所的1／20，而且抗地震抗污染能力都很强，近几年来又进一步把220千伏以下的SF6断路器和其它元件集三相于—个金属罐中，其占地面积只是分箱式结构的70％定右，节约材料运输、安装也很方便，如果进一步把变压器和仪表等也都用罐体连接起来就能成为真正的成套变电站，但是现在SF6封闭组合电器价格比较贵上些(以220千伏SF6断路器为例，比SW4少油断路器每台贵7～8万元)，所以仅适用于用地紧张、空气污染严重的地区，七十年代后期又出现了落地罐式SF6电器，也叫复合式断路器，是以SF6落地罐型断路器为基础、组合电流互感器、隔离开关、接地开关、出线套管等元件组成。这种形式既有占地面积少的优点、价钱又适中，灵活性大、用户选用方便、有较高的抗地震能力和防污染能力、规格标准、加配制造方便、在日本使用得比较广泛。

我国在七十年代就已引进安装使用了SF6断路器和SF6封闭组合电器，国内制造厂早在六十年代初期就已着手研制SF6断路器，几家工厂分别制造出不同类型的10—220千伏SF6断路器和SF6封闭组合电器的样品并安装试运行现在我国正试制500千伏的SF6断路器，但是制造SF6断路器和SF6封闭组合电器有一定的技术难点，所以要经过一段时间才能批量生产、真正代替目前的少油断路器