洁净室表面导静电性能测定
liyunlan003
2014年07月02日 16:33:35
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(1)检测设备 采用符合精度要求的高阻计。(2 )检测方法在测试表面上选择比较有代表区域的两个点 ,用导线把高阻计和两个铜圆柱形电极连接起来进行测量,其表面电阻和泄漏电阻值可以按图 9- 11所示的测试装置测量。(3)合格标准① 地面的面层应具有导电性能,并应能够挺时间稳定。②表面电阻率应为 1.0Xl05~1.0 ×1012Ω ,或体权电阻率为1.0 ×10^4~1.0 ×10^11Ωcm ;泄漏电阻值应为1.0 ×10^5~ 1.0 x 10^9Ω。

(1)检测设备
采用符合精度要求的高阻计。
(2 )检测方法
在测试表面上选择比较有代表区域的两个点 ,用导线把高阻计和两个铜圆柱形电极连接起来进行测量,其表面电阻和泄漏电阻值可以按图 9- 11所示的测试装置测量。
(3)合格标准
① 地面的面层应具有导电性能,并应能够挺时间稳定。
②表面电阻率应为 1.0Xl05~1.0 ×1012Ω ,或体权电阻率为1.0 ×10^4~1.0 ×10^11Ωcm ;泄漏电阻值应为1.0 ×10^5~ 1.0 x 10^9Ω。



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