洁净度是评价洁净室环境的主要品质，即要求空气中的微粒的浓稠程度符合一定标准，但因为在进行净化处理中的工作通常具有特殊性，所以洁净管道拥有独立、专业性强特点，洁净管道的设计是按照规定洁净室工艺来确定的，就是依据洁净工艺管道等级进行分级。洁净室专用管道因加入了镍，其钝化性能良好，而使它无论是在氧化介质还是原介质中都具有很好的耐蚀性，从而使医用介质输送工艺管道普遍选用该种管道。洁净室专用管道中的医用洁净管道实际上一般都是指卫生级不锈钢洁净管道。就焊接性能而言，这种钢的优点是焊接时不会发生相变、无冷裂纹和淬硬性倾向，但却存在晶间腐蚀、热裂纹和变形大等去缺点。
1.乱流式
空气由空调箱经风管与洁净工艺管道配件进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。
2.层流式：
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
3.复合式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。jiejingguandao.com/jishu/
洁净隧道：将过滤器，如ULPA过滤器等100%覆盖制程区域或工作区域，能使洁净度等级提高至10级以上，同时大大节省安装、运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免在对机器进行维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。