晶元厂蚀刻
我是发财哥
2007年08月30日 11:08:27
只看楼主

晶元厂蚀刻是不是最好不要回风,一般常做全新风系统?有哪位能提供晶元厂的设计系统看看?

晶元厂蚀刻是不是最好不要回风,一般常做全新风系统?
有哪位能提供晶元厂的设计系统看看?
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我是发财哥
2007年08月30日 15:48:19
2楼
NK呢,高手多回家睡觉了?
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fujingtx
2007年08月30日 15:49:38
3楼
酸性液体很大,是利用排风把它经过废气塔处理后,才能达标排放,一般晶元设备上面都有一个大的排风罩

其系统基本和高端PCB厂差不多:都是MAU(新风处理)+FFU+DDC+P废气处理
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