利用CFD方法对拟采用风机过滤器单~(FFUs)洁净空调方案的ISO5级电子工业洁净室 净化工程进行模拟，得出室内气流速度场，分析其性能，通过理论公式计算所能达到的洁净度。认为通过合理布置末端FFU送风口位置及选择回风形式，以及选用较高级别的末端过滤器，可以在FFU满布率较低时达到较高的洁净度级别。