洁净室回风口要装滤网吗?
ywt960254@co163
Lv.2
2006年07月11日 11:38:12
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洁净空调系统
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hhnec
2006年10月01日 17:43:20
12楼
如果可以的话还是尽可能要装,而且要定期更换。
这种无纺布价格不高,但它却能够保护相对昂贵的高效、超高效,当你1-2年去更换时发现上面墨黑一片时就会发现加装的必要性了。
特殊如集成电路生产的洁净厂房,其中一些CMP(化学机械抛光)装置、BG(背面减薄)区域的工艺机台运行时会产生大量的污染物,进入回风后极大地影响高效寿命。此时必须得装!
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crj1314520
2006年10月02日 15:03:50
13楼
看制程的了,
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hhnec
2006年10月03日 09:21:46
14楼
空调净化回风口过滤器在洁净工程中的作用.PDF
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