下面是制取18MΩ.cm纯水的流程,看一看,提一下建议吧!我原水箱中水为1MΩ.cm纯水,比较好的,所以前面没有用去除钙镁等离子,以及除氯等装置,直接是原水箱接CEDI增压泵。【原水箱→CEDI增压泵→254nmUV杀菌器→0.45um膜过滤器→CEDI装置→氮封水箱→供水泵→185nmTOC脱除器→ 一级抛光混床→254nmUV杀菌器→ 0.22UM膜过滤器→二级抛光混床→0.04UM膜过滤器→用水点(PVDF管)】
下面是制取18MΩ.cm纯水的流程,看一看,提一下建议吧!我原水箱中水为1MΩ.cm纯水,比较好的,所以前面没有用去除钙镁等离子,以及除氯等装置,直接是原水箱接CEDI增压泵。
【原水箱→CEDI增压泵→254nmUV杀菌器→0.45um膜过滤器→CEDI装置→氮封水箱→供水泵→185nmTOC脱除器→ 一级抛光混床→254nmUV杀菌器→ 0.22UM膜过滤器→二级抛光混床→0.04UM膜过滤器→用水点(PVDF管)】
2楼
呵呵
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3楼
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4楼
第一个254nmUV杀菌器最好放在CDI后面,UV可能会产生氧化物。第二个254nmUV杀菌器应该没什么必要
终端没有换热器,是不是对温度没要求
我主要做的是电子厂,不知道其他厂是不是有特殊的要求
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5楼
设计流量多少?
POU的参数指标是怎么样的?
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6楼
系统很完善了,不知道实际运行效果如何》这个流程的水量是多少,?具体参数能否告知?
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7楼
非常感谢,还要多学习
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8楼
不知道楼主的18M超纯水用于什么场合,假如用于芯片厂的话,超纯水中的硅和硼没有得到适当的控制,相信用这水做出来的成品芯片合格率会很低。核子级抛光混床并不能很好地控制硅和硼。
此外,地板的答复也很尖锐,为什么不设置换热器?
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9楼
此套设备流程出水量为1吨/h,我们对于出水点没有温度要求,所以终端没有换热器;我们原水水质较好,不知进过这套设备后,硅硼离子会达到多少?因为现在设备还没有安装运行呢!
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本帖最后由 xiaoxiaoniao010 于 2011-9-4 10:05 编辑 ]
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