关于洁净室使用
hotboyok
hotboyok Lv.3
2010年10月15日 10:44:50
只看楼主

一个大约9400平米的普通洁净室,设计洁净等级为10000@0.5um),局部5000@0.5um。(MAU+AHU+FFU构造,MAU的过滤器是G4+F8,AHU过滤器是G4+F8,HEPA是H12。换气次数约30次。)-----------------------------------------------------------运行6年来,动态实际控制要求是<3000@0.3um

一个大约9400平米的普通洁净室,设计洁净等级为 10000@0.5um),局部 5000@0.5um
(MAU+AHU+FFU构造,MAU的过滤器是G4+F8,AHU过滤器是G4+F8,HEPA是H12。换气次数约30次。)
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运行6年来,动态实际控制要求是< 3000@0.3um,局部< 500@0.3um.(静态<100)
近来局部出现3000~ 4000@0.3um的测量数据,生产部门开始抱怨空气洁净等级不够。(所有HEPA均不漏风)
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检查发现部分AHU的HEPA进风侧已经明显发灰,AHU的HEPA送风风速大概在AHU0.8m/s,FFU的送风风速1.1m/s
AHU与FFU的送风口数量1:1,打算近期更换AHU的HEPA,以提高换气次数。
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请教:1.实际要求< 3000@0.3um,局部< 500@0.3um是不是高了?
2.有没有必要更换AHU系统的所有HEPA?
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hotboyok
2010年10月15日 10:47:55
2楼
哎呀,重复发帖了,请版主将此帖沉底。谢谢!
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