设计小型洁净室用MAU+DCC+FFU可以吗
dutdy
dutdy Lv.2
2005年08月04日 14:48:54
只看楼主

各位前辈、专家:请问设计一个小型的洁净室(1平方米左右),洁净等级10~100级,用MAU+DCC+FFU可以吗?如果不可以,或者不经济,那用什么组合好呢?谢谢

各位前辈、专家:
请问设计一个小型的洁净室(1平方米左右),洁净等级10~100级,用MAU+DCC+FFU可以吗?
如果不可以,或者不经济,那用什么组合好呢?
谢谢
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杉木52013114
2005年08月04日 15:41:24
2楼
怎么看起来象超净工作台呢?
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zht2004
2005年08月04日 15:41:51
3楼
没必要,直接找厂家订做层流组件就OK了
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dutdy
2005年08月04日 18:47:24
4楼
谢谢!但是我们要自己做一个这样的系统,层流组件都有什么呢?对比起,我是新手!这个微洁净室不是在大的洁净环境里,具体怎么做呢?都需要用什么设备呢?还请指点迷经
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zht2004
2005年08月04日 19:57:47
5楼
FFA组件/BCZ组件 都可以;

找国产的就不妨问一下苏净
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dutdy
2005年08月04日 20:01:14
6楼
用FFA组件,不在大的洁净环境中也可以吗?版主能不能说得具体点,俺是新手
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zht2004
2005年08月04日 20:05:26
7楼
你不说具体点,偶也没法具体回答啊,哥们
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dutdy
2005年08月04日 20:17:07
8楼
对不起,我也不知道还要什么指标呀?我们的洁净度是100级和10级,气流速度是0.35,静压差是15Pa,温度是22,湿度是45%,就是把硅片的传输系统,大于1平方米做上一个罩子,达到各项指标。怎么做呢,麻烦了
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zhiyuan
2005年08月04日 20:21:45
9楼
苏净的BCZ组件我见过,应该可以,快去钉做吧。。。
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angelo_yu
2005年09月01日 18:20:15
10楼
这样做可以满足你的要求,但是却没有必要,因为这不是最好的方案,一个合理适用的设计应该在满足要求的前提下,还应该向:投资成本少、运行成本小的方面考虑。
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sunxiamei
2005年09月02日 14:02:53
11楼
相当于一个小的洁净工作棚!
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